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JEOL JBX-3200MVS 电子束光刻系统
JBX-3200MVS是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统,具有先进的技术,实现了高速、高精度和高可靠性,可用于制作28nm~22/20nm节点的掩模版/中间掩模版(mask/reticle)的可变矩形电子束光刻。
Advantest E3650/E3640 光掩模电子束关键尺寸量测设备
MASK MVM-SEM E3650/E3640 支持亚10 nm节点和1Xnm节点光罩的多维观察和SEM测量。
Runsemi 掩膜版单片清洗系统
Runsemi 掩膜版单片清洗系统配备多种清洗工艺,适用于BIN、PSM、EUV Mask等高阶掩膜版清洗。该系统具有优异的异物去除性能和无图案损伤特性,可提高高阶制程中的光掩模成品率。
LAZIN LODAS-AI50/100/200 Photomask Blanks 缺陷检查装置
LODAS-AI50/100/200 应用于半导体Photomask原板、Blanks缺陷检查。