Advantest E3650/E3640 光掩模电子束关键尺寸量测设备特点
支持亚10 nm节点/1Xnm节点光罩的多维观察和SEM测量；
大视场测量；
CD测量长期稳定；
三维观察；
● 掩膜尺寸: 6"（6025） ；
● 适用节点: 10 nm、1Xnm ；
