Nikon NSR-S208D 翻新KrF扫描式光刻机特点
KrF扫描式光刻机，采用248nm波长的KrF准分子激光曝光光源；
搭载双工件台，支持6"/8" 晶圆的高效、高精度量产；
适用于制造高性能的半导体器件，包括微处理器、动态随机存取存储器（DRAM）、以及复杂的逻辑和混合信号芯片等。。
● 波长： 248nm；
● 数值孔径: 0.82；
● 分辨率: 110nm；
● 缩小倍率: 4:1；
● 最大视场: 26mm×33mm ；
● 套刻精度: 15nm ;
● 产能: ≧ 147片/小时 ;
