Nikon NSR2205i12D 翻新步进式光刻机 特点
i-line 步进式光刻机，采用365nm波长的光源；
搭载双工件台，支持6"/8" 晶圆的高效、高精度量产；
在成熟半导体工艺节点（0.35μm 及以上）、功率器件、MEMS 和先进封装等领域得到了广泛应用。
● 波长： 365nm；
● 数值孔径: 0.63；
● 分辨率: 350nm；
● 缩小倍率: 5:1；
● 最大视场: 22mm×22mm ；
● 套刻精度 LSA/FIA: 60nm/70nm ;
