光学 - 斯玛特国际有限公司

电子束光刻在大面积微纳光学器件制造中的潜力

基于可变形状束（VSB）写入和字符投影（CP）的高分辨率、高通量光刻技术（如电子束光刻）的出现，为多种光学纳米结构的灵活应用开辟了道路。本文讨论了这些图案化方法的技术特点、优势与局限性，并展示了如何通过结合这些技术实现多样化的光学纳米结构，包括用于超短激光脉冲或高分辨率光谱仪的光栅、非球面测试的计算机生成全息图（CGH）、各类光学超构结构（透镜与光栅）以及紫外偏振器等。